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电子抛光的工作原理主要是通过电解抛光技术实现的，电解抛光是利用电化学溶解的原理，将金属工件表面凹凸不平的部分进行阳极溶解，从而达到平滑表面的效果，电子抛光设备通过控制电流和电压，使金属表面在电解液中发生化学反应，从而实现抛光的目的，这种抛光方式不仅适用于金属表面，还可以用于其他材料的表面处理。
电子束抛光机是一种利用电子束技术实现材料表面抛光处理的设备，其工作原理是通过电子枪发射一束高密度的电子束，经过聚焦后作用于材料表面，使表面微小凸起部分受到高能电子束的冲击而熔化或蒸发，从而达到抛光的目的，电子束抛光具有精度高、效果好等特点，适用于对材料表面要求较高的加工领域。
电子束抛光机主要由电子枪、聚焦系统、工作台等部分组成，在操作过程中，需要根据材料的性质和加工要求设置合适的电子束参数，如电流、电压、扫描速度等，还需要对设备进行适当的维护和保养，以保证其长期稳定的运行。
电子抛光和电子束抛光机都是利用现代电子技术实现材料表面处理的设备，它们的工作原理虽然有所不同，但都是为了达到平滑、高精度的表面效果，具体应用哪种方式，需要根据材料的性质、加工要求以及实际情况进行选择。